ym104432846
Вставьте ссылку на видео из Youtube, Rutube, VK видео
Задайте вопрос по видео
Что вас интересует?
00:00:15
Российские достижения в микроэлектронике:
  • Создан литограф российского производства на 13,5 нанометров, ранее аналогичный использовался компанией ASML
  • Предложена новая технология изготовления микрочипов с использованием рассеянного рентгеновского излучения вместо масок (шаблонов)
  • Разработана российская технология стабилизации поверхности зеркал литографов с помощью специальных виброизолирующих механизмов
00:06:39
Преимущества российского подхода к производству литографов:
  • 1. Разработчики утверждают, что российский безмасочный литограф будет значительно (в десятки раз) дешевле аналогичного оборудования иностранного производства
  • 2. В Нижнем Новгороде ведутся работы по созданию литографа, использующего рентгеновское излучение, позволяющее достичь размера элементов чипов до 7 нм
  • 3. В Зеленограде завод «Микрон» занимается разработкой менее продвинутого литографа с разрешением от 90 до 130 нм
00:07:54
Особенности конструкции литографов:
  • 1. Лазером превращают капли олова в плазму для получения нужной волны света через систему линз и зеркал с минимальной допустимой неровностью поверхности зеркал (до 1 мм)
  • 2. Литографическая подложка разгоняется до скорости 100 км/ч менее чем за 0,9 секунды, обеспечивая высокую точность остановки под лазерным лучом
  • 3. Для минимизации вибраций литографические установки устанавливаются на отдельные массивные бетонные блоки и размещаются на специальных фальшполах, предотвращающих влияние шагов сотрудников
00:10:27
Применение адаптивной оптики:
  • 1. Разработана уникальная технология адаптивной оптики для преодоления атмосферных искажений света от звёзд
  • 2. Применяется передовая математика и программное обеспечение российского производства высокого уровня
  • 3. Российские школьники регулярно занимают лидирующие позиции на международных олимпиадах по математике
00:11:29
Сложности разработки оптической системы:
  • Предложено использование многослойных зеркал (нано-бутерброд), состоящих из множества слоев металлов (молибден, кремний)
  • Толщина каждого слоя должна составлять половину нанометра
  • Основной проблемой технологии является воздействие рентгеновского излучения, способное повредить конструкцию
00:11:59
Необходимость вакуума в установке:
  • 1. Разработана альфа-машина для запуска прототипа лазерно-плазменного источника длиной волны 11–12 нм, запущена в начале 2026 года
  • 2. Новосибирские ученые обладают опытом производства зеркал для рентгеновской оптики и космических телескопов
  • 3. Рассматривается использование зонных пластинок Френеля (мишеней с концентрическими кольцами) для коррекции отклонения света в рентгеновском диапазоне
00:13:45
Разработка микрозеркальной матрицы:
  • Разработана технология печати рисунков с помощью рентгеновского излучения и микрозеркал, каждое из которых соответствует одному пикселю изображения
  • Для качественной печати необходима разработка специального фоторезиста с ультрамелкой молекулярной структурой, аналогичной зарубежным технологиям на уровне 5 нанометров
  • Проблема дефицита чипов в мире связана не столько с отсутствием микросхем на 5 нанометров, сколько с дефицитом простых электронных компонентов (контроллеров), используемых в производстве автомобилей и электроники
0: Когда увижу наш процессор с нашими библиотеками, с нашим по с человеческим лицом, тогда и скажу молодцы, прорыв круто похвалит, наконец снизойдёт в мире вообще то считается, что создать лито.
1: Силами 1 страны невозможно, понимаете, невозможно то, что наши делают физики сейчас инженеры, это mission impossible, так что если мы к 30 году, как заложено в планах государства создадим.
2: Литограф на 28 нанометров это будет вот такой болт положить на весь этот мир. Причём это будут честные 28 нанометров, а не маркетинговые, как у apple самсунга на самом деле в этих заявленных микрочипах нет ни 1 детали на 2 нанометра.
3: Расстояние между транзисторами от 40 до 50 нанометров. Ширина транзистора от 10 до 12 нанометров. Вы знаете, кстати, что именно наши российские зеркала являются частью экосистемы. Смл смл это единственный
4: Компания абсолютный монополист, которая печатает микрочипы для всего мира. Детали для их литографов приходят из Десятков стран. Чтобы каждый литограф привезти в голландию, нужно несколько боингов про зеркала вот вам расскажу.
5: На 1 месте в мире вообще впереди планеты всей в изготовлении так называемых живых зеркал. Зеркала являются вогнутыми, потому что им нужно сфокусировать луч, которым рисуют на фоторезисте. Этот луч рисует в размерах.
6: 30 тире 50 атомов. Вот ширина луча мельчайшая вибрация, и этот луч начнёт мазать картинку. То есть схема не получится. То есть зеркальная поверхность должна самортизировать любой
7: Вибрационный удар. Позади каждого зеркальца. Под этой плёнкой находится много, много маленьких ножек, которые как бы выталкивают или затягивают эту поверхность зеркальную. Вот где-нибудь там, за 2 улицы проехал трамвай. Да пошла вибрация поп.
8: Периметру этого литографа стоят датчики вибрации. Ну вот и представьте, да, вот вогнутое зеркало, оно должно быть абсолютно стабильным. Идёт ударная волна в эту точку. Зеркало должно удать встречный удар для того,
9: Чтобы в итоге поверхность осталась Ровно на том же месте и тут идёт вопрос, она на метрах вот этих изменений. То есть датчики передают сигнал на компьютер и компьютер мгновенно реагирует, чтобы встретить этот удар. И это, кстати, я вам рассказал.
10: Ноу хау, как будут делать у нас литографы, потому что смл делает по другому. Они печатают через маски, через шаблоны, а мы решили, что это тупик. Ну и там сопутствующие такие проблемы. Дело в том, что маски вот эти
11: У смл они стоят в изготовлении от 5 до 10 000 000 $ каждая потом зато это секунды занимает да, через эти маски пропечатать рисунок, а ssml печатает ну просто миллионы микрочипов на весь мир для.
12: Всех телефонов мы этого делать не будем, потому что санкции мы все равно никому ничего продать не можем. То есть нам нужно было придумать способ делать наоборот на внутренний рынок. И тут нам нужно было не количество, а разнообразие. То есть нам же разные микрочипы нужны.
13: То есть нам нужно было придумать способ делать так, чтобы вот эти рисунки схем можно было быстро менять. То есть мы будем рисовать сразу лучом света не засвечивать через маски, причём мы будем пользоваться
14: Другим светом они пользуются экстремальным ультрафиолетом, а мы будем делать рассеянное рентгеновское излучение. Ой, ну теперь давайте по порядку. Вообще про все эти литографы. Во первых, трагедия наша в девяностые годы, когда наша наука еле еле выживала.
15: Российской академии наук пришлось продавать наши зеркала, просто чтобы выжить, мы продавали их американским лабораториям и немецкой Карл зейс. Вот этот зейс сейчас является абсолютным, единственным экспортёром своих зеркал.
16: Для ssml ну, вы представляете, вот эти объективы, которые сделаны исключительно на российских патентах на наших изобретениях сейчас стоят по 350 000 000 $, ещё 1 прокол нашего правительства 2000 деся.
17: 5 году наши учёные создали уже литограф на 13 с половиной нанометров. Это были ребята из Нижнего Новгорода, и это был литограф такой же, как у асм. Вот в то время. Но тогдашнее руководство отраслью решило
18: Что быстрее, дешевле покупать готовое уа, ссмл. Вот у нас все беды от этого, что дешевле было покупать. Короче говоря, мы им продали свои фундаментальные знания, без которых никакого смл бы вообще в природе не было. Это просто вот вам для
19: Того, чтобы уважать. Вы научились нашу науку. Но, я думаю, мы выучили свои уроки, и теперь создание литографов это задача номер 1 для государства. Я думаю, тут все уже выучили свои уроки, потому что недаром идёт война за тайвань, между
20: Сша и Китаем это потому что тайвань полигон для испытаний вот этих вот всех новых технологий для микрочипов. А мы только сейчас, как человечество поняли, что микрочипы это, блин, не телефоны, это военка. На самом деле не стоит нам унывать, я считаю, потому что
21: Все мы начали это делать. К 28 году мы точно сделаем уже литографы на 90 тире 130 нанометров, чтобы вы не думали, что это кирпичи, где мы, где 2 нанометра 90%.
22: Всей мировой электроники, работает на 90 тире 130 нанометров. Ну, окей, может быть, от 28 нанометров. Дело в том, что чем меньше микрочип, тем он более хрупкий, и поэтому он нам
23: Наоборот, вот эти вот телефонные микрочипы, они не годятся для, например, транспорта, для военки, для космоса, а также для медицины. Они ненадёжные, и что мне больше всего нравится, как всегда, точно так же, как я говорила, вви.
24: Про 5 нанометров от мфти. Все, кто запутался, они говорят о памяти. То есть в этих вот микрочипах есть ячейки памяти. Наши придумали, как сделать, чтобы на 5 нанометрах это работало.
25: Лучше, чем нынешняя над память. То есть у нас используют атомы как транзисторы, внутри кристалла атом переключается как настоящий выключатель. Вот как sweet мы включаем, выключаем. И изготовление ли?
26: Мы тоже пошли по пути альтернативной физики, потому что мы умные. Кстати, наши разработчики говорят, что в итоге российский литограф будет в десятки раз дешевле голландского. Ну, кроме того, что мы будем делать? Безмасочный литографы, я
27: Я уже сказала, что мы будем использовать рентгеновское излучение, которое потенциально позволит уменьшить нанометра этих чипов до 7 нанометров. В общем, где мы сейчас находимся на нашем пути в Нижнем Новгороде, вот этот ипф ран, который
28: Придумал все эти зеркала, работает над литографом вот этим супер пупер крутым, а в Зеленограде на заводе микрон работают над созданием литографа более приземлённого, то есть от 90 до 130 нанометров. Если в
29: В Нижнем Новгороде все получится, то мы сразу же перескочим на размер 28 тире 7 нанометров. Вы представляете, какой это прорыв? Единственная проблема, что нам нужна целая цепочка Заводов, которые изготовляют что-то другое для этих литографов. Надеюсь, тут
30: Мы тоже преуспеем. Итак, давайте поговорим о том, почему же это так сложно сделать свой литограф. 1 нужно создать невероятно мощный и стабильный световой луч, как это делает смл. Они стреляют по летящим, по летящим.
31: Каплям олова 50000 раз в секунду лучом лазера это олово превращается в плазму и выделяет нужный свет вот нужную волну, 2 линзы и зеркала, зеркала должны быть такими.
32: Гладкими, что если вы каждое зеркало увеличите до размеров земли, допустимая неровность поверхности не должна превышать 1 миллиметра. Далее у них под лучом движется такая подложка, на которой лежит, блин, кремниевый
33: Да, и вот на этом блине рисуют много, много микрочипов. Так вот, эта платформа, она ускоряется сильнее, чем истребитель. Последнее поколение литографов, там ускорение 32 джи. Это значит, что
34: Подложка разгоняется от нуля до 100 километров в час за 0, запятая 0 9 секунд это в 30 раз быстрее, чем болид формулы 1, и при этом она должна остановиться под лучом света с точностью.
35: До нанометра поехали дальше, как борются с тряской в аппаратах смл, литографы не стоят на обычном полу, под каждый литограф отливают отдельный бетонный блок весом сотни тонн, то есть этот фундамент, он даже
36: Фундаментом всего завода никак не связан. Представляете, на нынешних заводах даже сотрудники ходят по специальным фальш полам, чтобы даже шаги не могли повлиять на тряску. Дальше ещё интереснее внутри этого аппарата существует.
37: Короб, в котором абсолютный вакуум и самые важные части парят на магнитной подушке. Это как типа лифт работал в сериале разрабы. У них тоже сейсмографы стоят по периметру, которые улавливают малейшие вибрации, но
38: Только они не луч корректируют и не зеркала, они корректируют всю эту платформу. Опять же, по какому пути мы идём? Можно же не шаблоном пользоваться? Да, мы будем рисовать тоненьким лучом. В таком случае можно использовать математическую коррекцию, то есть electronic про
39: Просто вычисляет, где находится заготовка сама, ну вот эта кремниевая пластина и корректирует луч относительно неё. То есть если заготовка смещается, то луч прыгает за ней. Это как если бы лист бумаги трясся, но карандаш был бы привязан к ней.
40: Системой наведения. У нас есть огромное наследие в системах наведения. Оказывается, мы годами и десятилетиями учились попадать с огромного расстояния белке в глаз. Теперь эти навыки можно использовать в микромире. Во вторых, та,
41: Самая адаптивная оптика, мы это делали тоже десятилетиями для космоса. Ну потому что атмосфера это такой кипящий Котёл. А если телескопы стоят на земле, а не в космосе, не на спутниках, то получается, что нужно вот эту толщу.
42: Воздуха постоянно как-то преодолевать. И эти зеркала постоянно меняли форму для того, чтобы луч звезды оставался в фокусе. Ну и 3, это математика и софт. Это у нас вообще на самом высшем уровне. Если кто-то не в курсе, наши олимпиадники по фи,
43: Математики стабильно на 1 месте, на всех мировых олимпиадах, по, например, по европе. Мы на 1 месте всегда в мировых олимпиадах. Мы даже китайцев иногда обходим. Теперь в чем сложность именно нашего проекта? То что
44: Касается рентгена. Дело в том, что рентген это тебе необычный свет, для него зеркало это вообще пустое место, он его насквозь прошивает. То есть мы не можем обычными зеркалами сфокусировать луч. Наше решение это использование оптики скользящего
45: Это типа как пускать блинчики по воде. То есть зеркала под таким углом острым находятся к лучу, что все-таки они его отражают. Во вторых, мы будем использовать многослойные зеркала, этакий нано бутерброд, там каждое зеркало
46: Состоит из сотен слоёв металла разного типа, например, молибдена и кремния толщина каждого слоя должна быть выверена с точностью до половины нанометра. Проблема в том, что рентген все равно рано или поздно поджаривает такое there.
47: И слои металла начинают перемешиваться. То есть сделать вот такие зеркала ещё и стабильными. Это отдельный научный подвиг. Дальше я зачитаю, потому что не понимаю ничего стеклянных линз для рентгена не существует коэффицие.
48: Преломления у материалов в этом диапазоне почти равен единице. Свет просто не отклоняется, как это обходят, используют зонные пластинки френеля это крошечные мишени с концентрическими кольцами или составные преломляющие ли
49: Из алюминия или берилия это требует ювелирной точности изготовления, которую сложно представить, ну и vacuum для наших установок тоже обязателен воздух, для рентгена, как густой туман, то есть атомы кислорода и азота мгновенно.
50: Поглощают лучи. Любая пылинка или залетевшая туда молекула Газа может сгореть на пути рентгена и не просто отбросит тень, а вообще испортит оптику. Почему у нас получится? Потому что в Новосибирске нижнем но
51: Новгороде сильнейшие школы именно рентгеновской оптики мы десятилетиями делали зеркала для космических телескопов оказалось, что навести телескоп на далёкую чёрную дыру и сфокусировать луч внутри лето.
52: Раф это задача близнецы, где мы находимся. У нас уже сделана альфа машина. В начале 26 года. Ученные отчитались о запуске прототипа лазерно плазменного источника на длину волны 11 и 2 нанометра. И это даже короче, чем у
53: Ssml у них 13 с половиной нанометров, и теоретически это даёт нам более высокую чёткость рисунка, показана принципиальная возможность работы ммс матрицы микрозеркал она уже прошла испытания на радиационную стойкость под жест.
54: Рентгеновским излучением. Ребята, это вот эта та самая штука, которая состоит из 1000000 микрозеркал. Короче, каждое зеркальце на этой матрице работает как пиксель, если смл шарашит, например, 1 лучом сквозь шаблон
55: Вот засвечивает через прорезанные дырочки вот этот вот фоторезист, то мы же решили тонкой кисточкой рисовать. Так вот, предположим, ты загружаешь в компьютер рисунок, который нужно отпечатать. Значит, система такая, загружаем в компьютер рису.
56: Этот рисунок отправляется на микрозеркала, потому что вот идёт луч рентгеновский, да, отражается сначала от микрозеркал, потом он попадает на живые зеркала, которые уже как линзы фокусируют, да, то есть они всю
57: Картинку уменьшают ещё и её печатают уже так вот вот эти микрозеркала, они тоже шевелятся, но автономно каждое. И получается, что каждое микрозеркальное, как пиксель, оно отвечает вот за пиксель этого рисунка и их задача
58: Ну вот шарашит на них рентген, да, их задача какие-то пиксели отвернуть. То есть зеркальце отворачивается, да, и вот этот луч отражает в сторону, это будет чёрный пиксель там, где рисунка нет. Вот, а какие-то должны, наоборот, отразить. Это белый
59: Pixel. Ну, представляете, как интересно, так как мы говорили о памяти на 5 нанометров. Вот интересно, будут ли у нас литографы на 5 нанометров? Основная Затыка с литографами не в том, чтобы вот сделать оптику такую, а в том, что фоторезист должен быть.
60: С очень мелкой молекулярной структурой. Разработка такой химии идёт параллельно уже в России, но эта задача не менее сложная, чем оптика. Кстати, прикол вот про этот маленький нанометра, да, ну что, я уже сказала, что 90% оптики работает.
61: На гораздо более больших нанометрах, когда случился глобальный дефицит чипов, в 21 году стали конвейеры автозаводов, мерседес и тойота, и проблема была не в отсутствии чипов на 5 нанометров, а в нехватке копеечных контроллеров.
62: 90 нанометров, которые делают в старых литографа именно поэтому Россия начала с создания литографа на 28 тире 65 нанометров для того, чтобы закрыть все базовые потребности страны, а не потому, что мы делаем.
63: Смартфоны размером с